华博科技

品质铸就品牌,科技创造未来!

  1. 首页
  2. >
  3. 探伤仪
  4. >
  5. 日本奥林巴斯Olympus LEXT OLS4500纳米检测显微镜

日本奥林巴斯Olympus LEXT OLS4500纳米检测显微镜

轻松实现从毫米到纳米无缝转换测量。兼具激光显微镜和探针显微镜功能的一体机。

市场价
¥ 报备价 报备价   
运费

免费

请识别二维码,用手机购买或咨询
看了又看

商品参数:

  • 商品编号: 19557
  • 存货编码: FA01-000062
  • 品牌: 日本奥林巴斯(日本)

商品详情



LEXT OLS4500纳米检测显微镜 产品介绍

LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜功能于一体的新型纳米检测显微镜,可以实现从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和测量。您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换,而不用担心目标丢失。



LEXT OLS4500纳米检测显微镜技术

光学显微镜的原理和特长

光学显微镜是从样品上方照射可见光(波长约400 nm到800 nm),利用其反射光成像,能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品,还可以切换观察方法,强调样品表面的凹凸,利用物质的特性(偏光性)进行观察。OLS4500上可以使用下述观察方法。

明视场观察:最基本的观察方法,通过样品的反射光成像进行观察。
微分干涉观察:给样品表面的微小凹凸添加明暗对比,使之变为可视的立体影像。
简易偏振光观察:照射偏振光,把样品的偏光性变为可视影像。


激光显微镜的原理和特长

可进行亚微米级观察和测量的激光显微镜

光学显微镜的平面分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长,采用短波长的激光扫描显微镜(LSM)比采用可见光的传统显微镜,拥有更高的平面分辨率。LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统,可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪,可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。

探针显微镜的原理和特长

可以观察纳米级微观世界的探针显微镜

探针显微镜(SPM)是通过机械式地用探针在样品表面移动,检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用,同时进行扫描,从而得到样品影像。探针尖端曲率半径为10 nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜(AFM),它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌,可以捕捉到样品最精细的一面。



LEXT OLS4500纳米检测显微镜实现了无缝观察和测量

使用光学显微镜的多种观察方法, 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源,可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜,涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长,除了最常使用的明视场观察(BF)以外,还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比,达到视觉立体效果的微分干涉观察(DIC),以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外,OLS4500上还配有HDR功能(高动态范围功能),该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成,来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。


使用激光显微镜,可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像

OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的专用物镜, 实现了优异的平面分辨率。 能以鲜明的影像呈现出光学显微

镜中无法看到的观察对象。 在激光微分干涉(DIC)模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。



3种选项模式,帮助您完成各种分析

电流模式
对样品施加偏置电压,检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影像。此外,还可以进行I/V测量。


表面电位模式(KFM)

使用导电性微悬臂并施加交流电压,检测出微悬臂与样品表面之间作用的静电,从而在影像中呈现样品表面的电位。


磁力模式(MFM)
在相位模式中使用磁化后的微悬臂进行扫描,检测出振动的微悬臂的相位延迟,从而在影像中呈现样品表面的磁力信息。

悬臂

高精度微悬臂实现了高可靠性

探针显微镜的平面分辨率由探针前端的直径决定。奥林巴斯独自开发、生产微悬臂,其探针前端的尖锐直径质量稳定,可靠性很高。此外,奥林巴斯的一系列独创设计—使探针定位更加容易的“TipView”构造、镊子型易于夹取物体的“新概念探针”等,不仅提高了观测精度,还使操作变得更加轻松。


OMCL-AC160TS-C3 标准硅胶微悬臂

高Q值带来的高分辨率测量

该型号是最常使用的动态模式专用微悬臂, 适用于表面粗糙度测量。


OMCL-AC240TS-C3 低弹簧常数硅胶微悬臂

可用于再现性较好的粘性和弹性测量

该型号作为动态模式专用的硅胶微悬臂,其弹簧常数最小《2N/m(Nom.)》,适用于粘性、弹性的测量等。


OMCL-TR800PSA-1 标准氮化硅微悬臂

低损耗、优异的耐久性

该型号常用于接触模式,其特点是探针柔软、探针损耗较小。每个前端带有100μm和200μm长两种微悬臂。



兼容多种微悬臂。微悬臂更换方法简单而易于掌握

请根据您的使用频度定期更换微悬臂。OLS4500上的电动物镜转换器、SPM测头、微悬臂支架已经被精确调整过, 所以只要把已调好微悬臂位置的支架插入SPM测头中即完成更换。微悬臂和支架的位置调整需要使用专用工装夹具, 所以谁都可以正确而轻松的完成操作。此外, 其他各种型号的微悬臂也按照同样方法更换, 提高了观察和测量的效率。

应用实例

                     


DVD表面
(扫描区域 5μm×5μm 3D影像)
可清楚观察到DVD刻录面的凹陷和表面状态



维氏硬度计压痕
(扫描区域 20μm×20μm 3D影像)
可清楚观察到从压痕顶角延伸的裂痕



TiO2单结晶电路板

(扫描区域 5μm×5μm 3D影像)

可观察到约0.3 nm的TiO2(二氧化钛)的原子台阶



IC元件圆孔

(扫描区域 4μm×4μm 3D影像)

可观察到元件表面附着的微小异物(白色部分)



高分子薄膜

(扫描区域 10μm×10μm 3D影像)

可观察到薄膜表面的划痕(中间靠左)



铝合金阳极氧化膜

(扫描区域 1.8μm×1.8μm 表面电位模式(KFM模式)左:高度影像 右:电位影像)

观察到铝合金阳极氧化膜的表面形状(左)的同时,观察到表面电位(右)


解决方案

1.在探针显微镜中弄丢了观察对象。

虽然在观察专用的光学系统中找到了观察目标点,但是切换到SPM观察后却无法获取目标点的影像。

实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。


奥林巴斯LEXT OLS4500纳米检测显微镜

2.找不到观察对象。

传统的探针显微镜上装配的光学系统倍率较低,所以会找不到晶圆或结晶表面上的微小缺陷,或者找到这类缺陷非常花费时间。

涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此,先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法,可以容易的发现观察对象。此外,对于光学显微镜难以找到的观察对象,还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉(DIC)观察中,可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。



3.想要缩短获取目标影像的时间。

通过其他装置找到观察对象后,再把样品重新放到探针显微镜上,需要多次扫描才能够获取目标影像。因此非常花费时间。

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后,所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速,正确的把观察对象移到SPM显微镜下面,所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。


4.评价样品时, 必须分别使用不同种类的显微镜。

评价之前没有操作过的样品时,必须尝试分别使用不同种类的显微镜。

一体机的机型,所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机,所以无需重新放置样品,即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能,所以能够高效输出最佳结果。


操作手册



厂家介绍

          奥林巴斯(中国)有限公司是一家主营工业、医疗和消费者市场的国际公司,专业进行光学、电子学和精密性工程研究。 涵盖了各种工业领先技术的投资信息,包括创新型检测、测量和影像设备的投资信息。各种先进的检测技术,包括:内窥检测技术(RVI)、显微镜技术(IE)、超声波技术(UT)、相控阵技术(PA)、涡流技术(EC)、涡流阵列技术(ECA)、X射线荧光技术(XRF)和光学测量技术。我们的产品包括超声波探伤仪、测厚仪、内窥镜、管道镜、显微镜、先进的在线无损检测系统、XRF和XRD分析仪、干涉仪,并有各种工业扫描仪、探头、软件程序和设备附件可供选择。

          我们的宗旨是为全球的消费者提供可靠、经济的系统。为此,我们加强了系统的安全性和质量,保证了消费者的生产力,从而为社会作出贡献。我们一直积极开发新技术、新产品和新服务,保证始终用最杰出的方案满足消费者的需求。因为产品的质量直接关系到我们对消费者的责任,因此在进行高质量的产品设计时,我们始终遵守最高的工业标准和规章,以确保产品对公众的安全。

商品参数

主机 规格

LSM部分

光源、检出系统

光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管

总倍率

108~17,280X

变焦

光学变焦:1~8X

测量

平面测量

重复性

100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm

正确性

测量值的±2%以内

高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式

行程

10mm

内置比例尺

0.8nm

移动分辨率

10nm

显示分辨率

1nm

重复性

100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm

正确性

0.2+L/100 μm以下(L=测量长度)

彩色观察部分

光源、检出系统

光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD

变焦

码变焦:1~8X

物镜转换器

6孔电动物镜转换器

微分干涉单元

微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元

物镜

明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X

Z对焦部分行程

76 mm

XY载物台

100 x 100 mm(电动载物台)

SPM部分

运行模式

接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*

、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*

位移检出系统

光杠杆法

光源

659 nm半导体激光

检出设备

光电检测器

最大扫描范围

X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm

安装微悬臂

在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整

专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

系统

总重量

约440 kg(不包含电脑桌)

I额定输入

100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz



微悬臂 规格

用途

型号

类型

探针数量

微悬臂

探针

材质

金属膜 
涂层

共振频率 
(kHz)

弹簧常数 
(N/m)

高度 
(μm)

前端半径 
(nm)

探针/ 
微悬臂

探针涂层/ 
反射涂层

动态模式/ 
相位模式

OMCL-AC160TS-C3

标准硅胶

24

300

26

14

7

Si / Si

无 / Al

OMCL-AC240TS-C3

低弹簧常数硅胶

24

70

2

14

7

Si / Si

无/Al

接触模式

OMCL-TR800PSA-1

标准氮化硅

34

73 / 24

0.57 / 0.15

2.9

15

SiN / SiN

无/Au

表面电位模式

OMCL-AC240TM-B3

电气测量专用硅胶

18

70

2

14

15

Si / Si

Pt/Al



• 微悬臂、探针的机械特性及尺寸均为代表值。 
• 微悬臂非常小,请注意不要伤到眼睛或不小心吞咽。